Physikalische Gasphasenabscheidung von (Oxi-)nitridschichten auf Ti-Basis mit gesteuertem Sektorlichtbogen

Zugl.: Würzburg, Univ., Diss., 1998

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Probst, Jörn (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1998
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte aus der Physik
Schlagworte:	Lichtbogen > Titan > Nitride > PVD-Verfahren > Beschichtung > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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