Titansilizide auf Silizium-Germaniumschichten

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Demuth, Volker (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Erlangen Friedrich-Alexander-Univ., Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung 1998
Schriftenreihe:	Mikrostrukturelle Materialforschung 6
Schlagworte:	Mischkristall > Germanium > Titansilicide > Epitaxie > Silicium > Hochschulschrift
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