Titansilizide auf Silizium-Germaniumschichten
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
Friedrich-Alexander-Univ., Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung
1998
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| Schriftenreihe: | Mikrostrukturelle Materialforschung
6 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1998 |
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| Beschreibung: | 142 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3932392078 3-932392-07-8 |