Untersuchung des selektiven Wolfram-CVD-Prozesses zur Viafüllung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1997
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996 |
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| Beschreibung: | X, 207 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3826526465 3-8265-2646-5 |