Metallurgische Eigenschaften und Elektromigration in ALCu x-Legierungen für höchstintegrierte Schaltkreise

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dietrich, Stefan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Augsburg Wißner 1997
Schriftenreihe:	Augsburger mathematisch-naturwissenschaftliche Schriften 17
Schlagworte:	Metallurgie > Metallisieren > VLSI > Degradation > Kupferlegierung > Aluminiumlegierung > Elektromigration > Hochschulschrift
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