Herstellung und Untersuchung von Halbleiterbauelementen mit dem Rasterkraftmikroskop
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
München
Diss.-Verl. NG-Kopierladen
1997
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Zugl.: München, Univ., Fak. für Physik, Diss., 1996 |
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| Beschreibung: | 100 S. |
| ISBN: | 3928536729 3-928536-72-9 |