Papers presented at the 2nd International Workshop on Plasma Based Ion Implementation Sydney, Australia, 12 - 15 February 1995

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Workshop on Plasma Based Ion Implantation (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 1996
Schriftenreihe:	Surface & coatings technology 85,1/2
Schlagworte:	Plasmatechnik > Ionenimplantation > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	124 S. Ill., graph. Darst.