Papers from the Eighth International Vacuum Microelectronics Conference 31 July - 3 August 1995, Portland, Oregon

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Vacuum Microelectronics Conference (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Mackie, William A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York American Inst. of Physics 1996
Schriftenreihe:Journal of vacuum science & technology / B 14,3
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Beschreibung
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zs.-Heftes
Beschreibung:S. 1875 - 2138
graph. Darst.