Papers from the 42nd National Symposium of the American Vacuum Society 16 - 20 October 1995 Minneapolis Convention Center, Minneapolis, Minnesota 1.

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: American Vacuum Society (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:und
Veröffentlicht: New York, NY American Inst. of Physics 1996
Schriftenreihe:Journal of vacuum science & technology / A ...; 14,3,1
Journal of vacuum science & technology / A ...
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Beschreibung
Beschreibung:S. 669 - 1302
Ill., graph. Darst.