Eleventh Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas Palm Springs, CA, May 1995

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Prater, Ronald (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Woodbury, NY AIP Press 1996
Schriftenreihe:American Institute of Physics: AIP conference proceedings 355
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Beschreibung
Beschreibung:XIII, 502 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:1563965364
1-56396-536-4