Microprocess special issue ; [the 8th International MicroProcess Conference (MPC '95) was held ... in Sendai ... 1995]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	MicroProcess Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Aoyagi, Katsunobu (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Japanese Journal of Applied Physics 1995
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics / A 34,12,2
Schlagworte:	Mikrosystemtechnik > Mikromechanik > Konferenzschrift
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