Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Zhao, Xianbin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig Physikal.-Techn. Bundesanst. 1995
Schriftenreihe:Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Abteilung Fertigungsmeßtechnik] 20
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