Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Braunschweig
Physikal.-Techn. Bundesanst.
1995
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| Schriftenreihe: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Abteilung Fertigungsmeßtechnik]
20 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995 |
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| Beschreibung: | III, 181 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3894296631 3-89429-663-1 |