Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid-Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum
1995
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5644 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1995 |
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Beschreibung: | [25], 254 S. Ill., graph. Darst. |