Entwicklung und Verifikation numerisch-effizienter Simulationsverfahren für RF-Niederdruckgasentladungen im PECVD-Regime

München, Techn. Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Fürst, Robert (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1995
Schlagworte:	Boltzmann-Gleichung > PECVD-Verfahren > Poisson-Gleichung > Niederdruckplasma > Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	München, Techn. Univ., Diss., 1995
Beschreibung:	V, 146 S. graph. Darst.