Vakuumbeschichtung 1 Plasmaphysik, Plasmadiagnostik, Analytik

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Kienel, Gerhard (BerichterstatterIn), Broszeit, Erhard (BerichterstatterIn), Behringer, Uwe (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1995
Schlagworte:	Vakuumbeschichten > Plasmaphysik
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	XI, 337 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	3184013111 3-18-401311-1