Thin film deposition : principles and practice

Thin film deposition principles and practice

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Smith, Donald L. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York u.a. McGraw-Hill 1995
Ausgabe:Internat. ed.
Schlagworte:
Dispositivos de películas delgadas > Galvanoplastia al vapor > Películas delgadas > Dünnschichttechnik > Dünne Schicht > Gasphasenepitaxie > Bauelement > CVD-Verfahren
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Hier auch spätere, unveränderte Nachdrucke
Beschreibung:XXIII, 616 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0070585024
0-07-058502-4
9780070585027
978-0-07-058502-7
0071139133
0-07-113913-3