Ion implantation: Basics to device fabrication

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Rimini, Emanuele (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boston u.a. Kluwer Acad. Publ. 1995
Schriftenreihe:Electronic materials: Science and technology
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