Ion implantation: Basics to device fabrication

Ion implantation: Basics to device fabrication

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Rimini, Emanuele (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boston u.a. Kluwer Acad. Publ. 1995
Schriftenreihe:Electronic materials: Science and technology
Schlagworte:
Ion implantation > Semiconductor doping > Semiconductors > Design and construction > Ionenimplantation
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Beschreibung
Beschreibung:XII, 393 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:0792395204
0-7923-9520-4