Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Joeris, Pierre (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1994
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Beschreibung
Beschreibung:Hamburg, Univ., Diss., 1995
Beschreibung:IV, 199 S.
Ill., graph. Darst.