Vakuumbeschichtung 3 Anlagenautomatisierung, Meß- und Analysentechnik

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Kienel, Gerhard (BerichterstatterIn), Broszeit, Erhard (BerichterstatterIn), Behringer, Uwe (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1994
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Beschreibung
Beschreibung:	XII, 368 S. graph. Darst.
ISBN:	3184013138 3-18-401313-8