Mechanische Beanspruchungsanalyse von Siliziumsensoren und -aktoren unter dem Einfluss von elektrostatischen und Temperaturfeldern

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mehner, Jan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:	Siliciumsensor > Siliciumbauelement > Aktor > Mechanische Eigenschaft > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1994
Beschreibung:	VII, 130 S. Ill., graph. Darst.