Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa 2 Cu 3 O 7

Zugl.: Hamburg, Univ., Diss., 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bade, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1994
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] 315
Schlagworte:	Supraleitendes elektronisches Bauelement > Ionenstrahlätzen > Mehrschichtsystem > Photoresist > Plasmaätzen > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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