Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe

Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhang, Junming (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1994
Ausgabe:	Als Ms gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 338
Schlagworte:	Mikromechanik > Schichtwerkstoff > Silicium > Bruchfestigkeit > Mechanische Eigenschaft > Wafer > Hochschulschrift
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