Silizium-Epitaxieschichten mittels Lösungstransport durch Fliehkraft

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Strunk, Horst (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen 1986
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 86,142
Schlagworte:	Flüssigphasenepitaxie > Silicium > Dünne Schicht
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Beschreibung
Beschreibung:	103 S.