Elektronenstrahlbelichtung für hochintegrierte Schaltungen

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hersener, Jürgen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Zimmermann, Harald (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1983
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - 83,76
Schlagworte:
Plasmaätzen > LSI > Maskenherstellung
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Beschreibung
Beschreibung:93 S.
Ill., graph. Darst.