Silizium-Flüssigphasen-Epitaxie mit Lösungstransport durch Fliehkraft und Untersuchung und Charakterisierung der Silizium-Epitaxieschichten mit Hilfe der Transmissions-Elektronenmikroskopie

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Strunk, Horst (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1983
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - 83,97
Schlagworte:	Silicium > Flüssigphasenepitaxie
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