Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten KARMA: Kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Etzkorn, Heinz-Werner (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jülich 1980
Schriftenreihe:	Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der ... 1698
Schlagworte:	Ionenimplantation > Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Zugl.: Bonn, Diss.
Beschreibung:	IV, III, 134 S. Ill., zahlr. graph. Darst.