Untersuchungen zur Technik von Silizium auf Saphir SOS

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Becker, Reinhard (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Goot, Peter de (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	München ZLDI 1977
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 77,1 - 77,68
Schlagworte:	SOS-Technik > Saphir > Silicium > Integrierte Schaltung
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Beschreibung
Beschreibung:	65 S. 25 Ill. u. graph. Darst.