Planar-Transistoren und Impatt-Dioden mit Ionen-Implantation

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Dorendorf, Heinz (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:und
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1979
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - 79,16
Schlagworte:
Ionenimplantation > Impatt-Diode > Planartransistor
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Beschreibung
Beschreibung:59 S.
21 Ill. u. graph. Darst.