Elektronenstrahlunterstütztes reaktives Sputtern von Titannitrid auf Schnellarbeitsstählen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schulz, Alwin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 330
Schlagworte:	Magnetronsputtern > Elektronenstrahlung > Verschleißschutz > Titannitrid > Schnellarbeitsstahl > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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