Vakuumbeschichtung 4 Anwendungen ; Teil 1 : Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Kienel, Gerhard (BerichterstatterIn), Broszeit, Erhard (BerichterstatterIn), Behringer, Uwe (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1993
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