˜Anœ existence and uniqueness result of a model describing the oxidation of silicon

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Merz, Wilhelm (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München Inst. für Angewandte Mathematik und Statistik, Techn. Univ. München 1993
Schriftenreihe:Deutsche Forschungsgemeinschaft / Schwerpunktprogramm Anwendungsbezogene Optimierung und Steuerung: Report 438
Schlagworte:
Silicium > Mathematisches Modell > Oxidation
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Beschreibung
Beschreibung:30 S.