Kapazitiver Mikrogassensor in Dünnfilmtechnik zur Messung von Schwefeldioxid in Umgebungsluft

Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lin, Jie (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI Verl. 1993
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 15] 107
Schlagworte:	Dünnschichttechnik > Kondensator > Gassensor > Schwefeldioxidbelastung > Schwefeldioxid > Hochschulschrift
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