Abscheidung dünner Isolationsschichten aus der Gasphase

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Behn, Reinhard (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München ZLDI 1976
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: [Forschungsbericht / T] 1976,66
Schlagworte:	Abscheidung > Gasphase > Dünne Isolationsschichten
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Beschreibung
Beschreibung:	88 S. graph. Darst.