˜Derœ Einfluß von elektrochemischen Potentialen und Licht auf das anisotrope Ätzen von Silizium

Berlin, Freie Univ., Diss., 1992

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Voss, Ralf (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1992
Schlagworte:
Elektrisches Potenzial > Silicium > Ätzen > Licht > Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Berlin, Freie Univ., Diss., 1992
Beschreibung:II, 118 S.
Ill., graph. Darst.