Radio-frequency power in plasmas Charleston, SC 1991
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
1992
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Schriftenreihe: | American Institute of Physics <New York, NY>: AIP conference proceedings
244 |
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Beschreibung: | XI, 399 S. Ill., graph. Darst. |
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ISBN: | 0883189372 0-88318-937-2 |