˜Derœ Stickstoffpartialdruck : eine Größe zur Prozeßkontrolle bei der Herstellung von TiN-Schichten mit Hilfe der PVD-Sputtertechnik

˜Derœ Stickstoffpartialdruck eine Größe zur Prozeßkontrolle bei der Herstellung von TiN-Schichten mit Hilfe der PVD-Sputtertechnik

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Juling, Herbert (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 1992
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] 270
Schlagworte:
Stickstoff > Titannitrid > Partialdruck > Prozessregelung > Hartstoff > Magnetronsputtern > Hochschulschrift
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!