Technologie und Charakterisierung einkristalliner Transistor-Strukturen mit Metall-Basis

München, Univ. d. Bundeswehr, Diss., 1991

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hansch, Walter (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1991
Schlagworte:	Silicium > Dünnschichttransistor > Transistor > Halbleitertechnologie > Silicide > Herstellung > Cobaltsilicate > Metallisieren > Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	München, Univ. d. Bundeswehr, Diss., 1991
Beschreibung:	IV, 179, [15] S. Ill., graph. Darst.