INFOS 87 proceedings of the Fifth International Conference on Insulating Films on Semiconductors ; Leuven, Belgium, 13 - 15 April, 1987

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	INFOS (Conference on Insulating Films on Semiconductors) (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Declerck, Gilbert (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam North-Holland 1987
Schriftenreihe:	Applied surface science 30
Schlagworte:	Metal insulator semiconductors > Metal oxide semiconductors > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	NST: Insulating films on semiconductors
Beschreibung:	XIV, 439 S. graph. Darst.