Ion implantation science and technology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Ziegler, James F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Boston u.a. Academic Pr. 1988
Ausgabe:	2. ed.
Schlagworte:	Ion implantation > Festkörper > Metallurgie > Dotant > Messung > Technologie > Silicium > Ionenimplantation > Aufsatzsammlung
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Beschreibung
Beschreibung:	IX, 498 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	0127806210 0-12-780621-0 0127806212 0-12-780621-2