Fundamental electron and ion beam interactions with solids for microscopy, microanalysis and microlithography proceedings of the 8th Pfefferkorn Conference, held May 7 - 12, 1989, at Park City, Utah

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Pfefferkorn Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schou, Jørgen (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Chicago, IL Scanning Microscopy Internat. 1990
Schriftenreihe:	Scanning microscopy / Supplement 4
Schlagworte:	Microscopy, Electron, Scanning > Scanning electron microscopy > Scattering, Radiation > Elektronenemission > Elektronenstreuung > Mikroskopie > Fotolithografie > Festkörper > Mikroanalyse > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	370, VIII S. graph. Darst.