Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpaßfiltern für das Ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Röntgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ruprecht, R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Bacher, W. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH 1991
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 4825
Schlagworte:	Mikrostruktur > Röntgenlithografie > Bandpass > Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von R. Ruprecht. - Zsfassung in engl. Sprache
Beschreibung:	II, 83 S. . Ill., graph. Darst.