Tunnel-MIS-Dioden mit neuartigen ultradünnen Dielektrika aus plasmanitriertem und thermisch nitriertem Silizium

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Meisel, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1986
Schlagworte:	MIS-Diode > Siliciumnitrid > Tunneldiode > Silicium > Solarzelle > Hochschulschrift > MIS-Kontakt > Tunnel-MIS-Diode
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Beschreibung
Beschreibung:	Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss.
Beschreibung:	IV, 143 S. Ill., zahlr. graph. Darst.