Neuere Entwicklungen der Silizium-Mikroelektronik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Höfflinger, Bernd (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Opladen Westdt. Verl. 1991
Schriftenreihe:	Rheinisch-Westfälische Akademie der Wissenschaften <Düsseldorf>: [Vorträge / N] 386
Schlagworte:	Mikroelektronik > Halbleitertechnologie > Silicium > Siliciumbauelement
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