˜Einœ Ionenstrahl Proximity Printer für die Halbleitertechnologie

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Behringer, Uwe (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:und
Veröffentlicht: 1981
Schlagworte:
Halbleitertechnologie > Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:Tübingen, Diss.
Beschreibung:95 S.
zahlr. Ill. u. graph. Darst.