Untersuchungen zu einem Verfahren Präzisionslageerkennung optisch wirksamer Strukturen mit Hilfe einer mikrorechnergekoppelten CCD-Zeile

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Christoph, Ralf (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Reinsch, Andreas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:und
Veröffentlicht: 1985
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Beschreibung
Beschreibung:Jena, Univ., Diss.
Beschreibung:113 S. auf 2 Mikrofiches
Ill., graph. Darst.