Microelectronics processing : chemical engineering aspects

Microelectronics processing chemical engineering aspects

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hess, Dennis W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington, DC American Chem. Soc. 1989
Schriftenreihe:Advances in chemistry series 221
Schlagworte:
Integrated circuits > Design and construction > Microelectronics > Materials > Surface chemistry > Mikroelektronikindustrie > Technische Chemie > Aufsatzsammlung
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Beschreibung
Beschreibung:XIV, 547 S.
Ill.
ISBN:0841214751
0-8412-1475-1