Halbleiterfertigung neue Trends bei Produktionsstrukturen und Fertigungsgeräten ; [Vorträge der GME-Fachtagung anlässlich der Productronica '89 am 7. und 8. November 1989 in München, Messegelände] = Semiconductor production

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Productronica (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Rebstock, Hans (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin u.a. Vde-Verl. 1989
Schriftenreihe:	GME-Fachbericht 5
Schlagworte:	Fertigungstechnik > Fertigungsanlage > Fertigung > Halbleiterbauelement > Produktionsstruktur > Halbleiter > Integrierte Schaltung > Halbleitertechnologie > Halbleiterindustrie > Konferenzschrift
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