Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Zürich
1977
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Schlagworte: |
COUCHES ÉPITAXIALES (PHYSIQUE DES SYSTÈMES MOLÉCULAIRES)
> ELECTRONIC STRUCTURE OF THIN FILMS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)
> ELEKTRONISCHE STRUKTUR DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)
> EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)
> SAPHIR (MINERALOGIE)
> SAPPHIRE (MINERALOGY)
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> SILICON (CHEMICAL ELEMENTS)
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> STRUCTURE ÉLECTRONIQUE DES FILMS MINCES (PHYSIQUE DES SYSTÈMES MOLÉCULAIRES)
> THIN LAYER FORMATION BY VAPORIZATION AND CONDENSATION (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)
> Hochschulschrift
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Beschreibung: | Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 1977 |
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Beschreibung: | 92 S. Ill., graph. Darst. |