Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bänziger, Urs-Peter (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Zürich 1977
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 1977
Beschreibung:92 S.
Ill., graph. Darst.